方案一(制备He):在LNG弛放气(BOG)排放出口将尾气导入本回收、纯化系统,经过预纯化单元处理后,进入一级纯化单元,经过检测达到既定纯度后进入二级纯化单元,经过检测达到5N(99.999%)纯度级别后,可以直接作为电子级He销售,同时生产电子级H2副产物。本系统的回收效率不低于90%,具体流程图见图1。
方案一(制备He):在LNG弛放气(BOG)排放出口将尾气导入本回收、纯化系统,经过预纯化单元处理后,进入一级纯化单元,经过检测达到既定纯度后进入二级纯化单元,经过检测达到5N(99.999%)纯度级别后,可以直接作为电子级He销售,同时生产电子级H2副产物。本系统的回收效率不低于90%,具体流程图见图1。
He分子非常小(仅次于H2)且具有化学惰性(比H2安全多了),故约6%的He应用于检漏行业,比如保压氦检、氦气检漏等。 空调“两器”即蒸发器和冷凝器,是空调两个非常重要的工件,有用He检漏的工序。为了保证检漏的效率和品质的控制,需要维持He的浓度大于80%(部分厂家75%)。然而在检漏的过程中,由于系统的密闭性不良、检漏流程的固有缺陷以及人工操作的不合规等因素,或多或少的混入空气,导致He浓度下降。一般的,当He浓度低于80%会部分或者全部排放He,同时补充高纯He。 本方案采用BOG提氦的一级纯化设备,改造成针对空调行业He回收、纯化的小型化紧凑型系统,可以实现He总体节约40-50%。
方案一:在LED外延制程的尾气排放出口将尾气导入本回收系统,经过初级处理后,进入一级纯化单元,经过检测达到既定纯度后进入二级纯化单元,经过检测达到与原料H2同样的5N(99.999%)纯度级别后,直接接入H2纯化器,进入工艺机台使用。如上循环往复,每次循环的回收效率不低于90%,具体流程图见图1。